主要用于热敏性材料的干燥，杀菌，萃取等生产过程，由于在真空条件下进行，保证产品在很低的温度下进行生产，避免改变物料的特性。微波真空干燥设备是微波能技术与真空技术相结合的一种新型微波能应用设备，它兼备了微波及真空干燥的一系列优点，具有干燥产量高、质量好，加工成本低等优点。工业化大生产中，有许多物品是不能在高温条件下进行干燥处理的，例如一些药品、化学制品、营养食品以及人参、鹿茸等高档中草药材，为了保证产品质量，其干燥处理必须在低于100℃或在室温的条件下进行，众所周知气压降低，水的沸点也降低，如在一个大气压（101.3kpa）下，水的沸点是100℃，而在0.073大气压（7.37kpa）下，水的沸点是40℃。在真空条件下，加热物体可使物体内部水分在无升温状态下蒸发。 由于真空条件下空气对流传热难以进行，只有依靠热传导的方式给物料提供热能。常规真空干燥方法传热速度慢，效率低，并且温度控制难度大。微波加热是一种辐射加热，是微波与物料直接发生作用，使其里外同时被加热，无须通过对流或传导来传递热量，所以加热速度快，干燥效率高，温度控制容易。